Hoci existuje veľa typov iónových zdrojov, ich účel je v podstate rovnaký: online čistenie, zlepšenie rozloženia energie na pokovovanom povrchu a modulácia energie reaktantu plynu. Iónové zdroje môžu výrazne zlepšiť pevnosť spojenia medzi fóliou a substrátom a zároveň zlepšiť tvrdosť fólie a odolnosť voči opotrebovaniu a korózii. V prípade vrstiev odolných voči opotrebovaniu{2}} nástrojov, ktoré sú vo všeobecnosti hrubšie a nevyžadujú vysokú rovnomernosť hrúbky filmu, možno použiť iónové zdroje s vyšším iónovým prúdom a vyššou úrovňou energie, ako sú zdroje Hallových iónov alebo zdroje anolytových iónov.
Anodické iónové zdroje fungujú na podobnom princípe ako Hallove iónové zdroje. V úzkej prstencovej (obdĺžnikovej alebo kruhovej) štrbine pôsobí silné magnetické pole, ktoré ionizuje pracovný plyn pod vplyvom anódy a smeruje ho k obrobku. Zdroje anodických iónov môžu byť vyrobené veľmi veľké a dlhé, vďaka čomu sú obzvlášť vhodné na poťahovanie veľkých obrobkov, ako je architektonické sklo. Ponúkajú tiež pomerne veľký iónový prúd. Ich iónový prúd je však difúznejší a distribúcia úrovne energie je príliš široká. Vo všeobecnosti sú vhodné pre veľké obrobky, sklo, brúsne povrchy a dekoratívne súčiastky. Ich aplikácia v pokročilých optických povlakoch však nie je rozšírená.
Hoci existuje veľa typov iónových zdrojov, ich účel je v podstate rovnaký: online čistenie, zlepšenie rozloženia energie na pokovovanom povrchu a modulácia energie reaktantu plynu. Iónové zdroje môžu výrazne zlepšiť pevnosť spojenia medzi fóliou a substrátom a zároveň zlepšiť tvrdosť fólie a odolnosť voči opotrebovaniu a korózii. V prípade vrstiev odolných voči opotrebovaniu{2}} nástrojov, ktoré sú vo všeobecnosti hrubšie a nevyžadujú vysokú rovnomernosť hrúbky filmu, možno použiť iónové zdroje s vyšším iónovým prúdom a vyššou úrovňou energie, ako sú zdroje Hallových iónov alebo zdroje anolytových iónov.
Anodické iónové zdroje fungujú na podobnom princípe ako Hallove iónové zdroje. V úzkej prstencovej (obdĺžnikovej alebo kruhovej) štrbine pôsobí silné magnetické pole, ktoré ionizuje pracovný plyn pod vplyvom anódy a smeruje ho k obrobku. Zdroje anodických iónov môžu byť vyrobené veľmi veľké a dlhé, vďaka čomu sú obzvlášť vhodné na poťahovanie veľkých obrobkov, ako je architektonické sklo. Ponúkajú tiež pomerne veľký iónový prúd. Ich iónový prúd je však difúznejší a distribúcia úrovne energie je príliš široká. Vo všeobecnosti sú vhodné pre veľké obrobky, sklo, brúsne povrchy a dekoratívne súčiastky. Ich aplikácia v pokročilých optických povlakoch však nie je rozšírená.
Zdroj Hallových iónov v avákuový lakovací strojionizuje procesný plyn za pomoci silného axiálneho magnetického poľa. Silná nerovnováha tohto axiálneho magnetického poľa oddeľuje plynové ióny a vytvára iónový lúč. Kvôli sile axiálneho magnetického poľa potrebuje iónový lúč Hallovho zdroja ďalšie elektróny na neutralizáciu toku iónov. Bežným zdrojom neutralizácie je volfrámové vlákno (katóda).
