Optický vákuový lakovací stroj pozostáva z vákuového systému, odparovacieho systému, chladiaceho systému a elektrického systému. Vákuový systém pozostáva z vákuovej nádrže a výfukového systému. Vákuová nádrž je hlavným telom nanášacieho stroja a proces nanášania je dokončený vo vákuovej nádrži. Vákuová nádrž a výfukový systém sú prepojené spojovacím ventilom. Aby sa zabránilo vplyvu molekúl vzduchu na naprašované ióny a zlepšila sa kvalita filmovej vrstvy, musia byť optické komponenty a zdroj iónov počas prevádzky umiestnené vo vákuovom prostredí.
Výfukový systém pozostáva hlavne z mechanického čerpadla, Rootsovej pumpy a vákuovej pumpy, ktorá je zodpovedná za odsávanie plynu vo vákuovej nádrži a vytváranie vákuového prostredia v nádrži. Systém odparovania sa týka hlavne zariadenia na vytváranie filmu. V poťahovacom stroji existuje mnoho typov zariadení na vytváranie filmu, ako je odporové zahrievanie, odparovanie elektrónovou pištoľou, magnetrónové naprašovanie, rádiofrekvenčné naprašovanie, iónové pokovovanie atď.
Optické vákuové nanášacie stroje nanášajú tenké vrstvy na optické komponenty pomocou vákuového naprašovania, čím sa upravuje odrazivosť a priepustnosť dopadajúceho svetla. Aby sa minimalizovali straty odrazom na povrchu súčiastok a zlepšila sa kvalita obrazu, často sa aplikujú viaceré vrstvy tenkých filmov. Po potiahnutí optického komponentu sa svetlo viacnásobne odráža a prepúšťa na povrchu viacvrstvového filmu, pričom vytvára viacero interferenčných lúčov. Riadením hrúbky a indexu lomu vrstiev filmu je možné dosiahnuť rôzne rozloženie intenzity. Tento princíp možno použiť na výrobu polarizačných reflexných fólií, fólií na rozdeľovanie farieb, fólií so studeným svetlom a interferenčných filtrov na splnenie komplexnejších potrieb.
