Vákuový náterový stroj sa týka hlavne povlaku, ktorý je potrebné vykonať pri vysokom vákuu, vrátane odparovania vákuových iónov, rozprašovania magnetrónu, epitaxie molekulárneho lúča, laserového rozprašovacieho depozície PLD a mnohých ďalších typov. Jeho hlavná myšlienka je rozdelená na odparovanie a rozprašovanie.
Požiadavky na pracovné prostredie vo vákuovom náterovom stroji:
Vákuové náterové vybavenie by malo fungovať v podmienkach vákua, takže zariadenie by malo spĺňať požiadavky vákua pre životné prostredie. Požiadavky vákua pre životné prostredie vo všeobecnosti zahŕňajú požiadavky vákuového zariadenia pre laboratórnu (alebo dielňu) teplotu, vzduch a iné tuhé častice v okolitom prostredí a požiadavky na časti alebo povrchy vo vákuu alebo vákuu.
Tieto dva aspekty sú úzko spojené. Okolité prostredie priamo ovplyvňuje normálne používanie vákuového zariadenia; Či je vákuová komora alebo časti inštalované vo vákuovom zariadení čisté, priamo ovplyvňuje výkon zariadenia. Ak je vo vzduchu veľa vodnej pary a prachu, je ťažké dosiahnuť očakávaný stupeň vákua čerpaním mechanickým čerpadlom utesnenou olejom bez vyčistenia vákuovej komory. Je dobre známe, že mechanické čerpadlá utesnené olejom by nemali čerpať plyny obsahujúce časticové prach, ktoré sú korozívne k kovom a reaktívne na vákuový olej. Vodná para je kondenzovateľný plyn. Ak sa vyčerpáva veľké množstvo kondenzovateľného plynu, znečistenie oleja z čerpadla bude vážnejšie. Preto sa zníži konečné vákuum čerpadla a čerpací výkon čerpadla bude narušený.
Prach v priemyselnom prostredí sa vyznačuje práškovými telami, bez názvu očí a prachu. Prášok je látka v stave agregácie alebo disperzie práškových alebo tuhých častíc. Takzvaný prášok sa vzťahuje na zbierku malých tuhých častíc a častice sa vzťahujú na malé látky, ktoré je možné spočítať jeden po druhom. Dym je materiálový systém, v ktorom malé častice tuhej látky alebo kvapaliny existujú v plávajúcom stave v plyne. Látky v granulovanom stave, či už tuhej látky alebo kvapaliny, sa kolektívne označujú ako častice prachu. Norma čistoty vzduchu je určená veľkosťou veľkosti prachových častíc, čím sa prispôsobuje stupni čistej miestnosti. Platí sa nielen na priemyselné odvetvia s čistými požiadavkami, ale aj na požiadavky na vákuum pre čisté prostredia.
