1. Štandardné podmienky prostredia: Teplota 20 stupňov, relatívna vlhkosť 65 %, atmosférický tlak 101325 Pa.
2. Štandardný stav plynu: Teplota 0 stupňov, tlak 101325 Pa.
3. Tlak (intenzita): Rýchlosť zmeny hybnosti molekúl plynu prechádzajúcich cez imaginárnu rovinu pozdĺž kladného normálového smeru tejto roviny, delená plochou tejto roviny; alebo normálna zložka sily, ktorou pôsobia molekuly plynu na povrch jeho nádoby, delená plochou povrchu.
4. Pascal (symbol: Pa): Jednotka tlaku SI, 1 Pa=1 N/m².
5. Parciálny tlak: Tlak špecifickej zložky v zmesi plynov.
6. Celkový tlak: Súčet tlakov všetkých zložiek v zmesi plynov.
7. Vákuum: Plynný stav pod 1 atmosférou tlaku v špecifikovanom priestore.
8. Stupeň vákua: Zriedenie plynu v podmienkach vákua, zvyčajne vyjadrené ako hodnota tlaku.
9. Plyn: Látka, ktorá nie je viazaná medzimolekulovými silami a môže voľne zaberať akýkoľvek priestor. (Poznámka: Vo vákuovej technológii sa výraz „plyn“ striktne nevzťahuje na nekondenzovateľné plyny a pary-.)
10. Ne-kondenzovateľný plyn: Plyn nad svojou kritickou teplotou, tj plyn, ktorý nemožno skvapalniť jednoducho zvýšením tlaku.
11. Para: Plyn pod kritickou teplotou, čo znamená plyn, ktorý možno skvapalniť jednoduchým zvýšením tlaku.
12. Tlak nasýtených pár: Tlak pár látky pri danej teplote, keď sú jej parná a kondenzovaná fáza vo fázovej rovnováhe.
13. Stupeň nasýtenia: Pomer tlaku pár k tlaku nasýtených pár.
14. Nasýtená para: Para pri danej teplote, ktorej tlak sa rovná tlaku jej nasýtených pár.
15. Nenasýtená para: Para pri danej teplote, ktorej tlak je nižší ako tlak jej nasýtených pár.
16. Hustota molekulového čísla (jednotka: m⁻³): Počet molekúl v objeme obklopujúcom bod v plyne v danom okamihu vydelený súčinom.
17. Stredná voľná dráha: Vzdialenosť, ktorú molekula prekoná pri dvoch po sebe nasledujúcich zrážkach s inými molekulami plynu, sa nazýva voľná dráha. Priemer značného počtu rôznych voľných ciest sa nazýva stredná voľná cesta.
18. Rýchlosť zrážok: Priemerný počet zrážok, ktoré molekula (alebo iná definovaná častica) zažije v porovnaní s inými molekulami plynu (alebo inými definovanými časticami) v danom časovom intervale, delený týmto časom. Tento priemerný počet zrážok by sa mal získať s dostatočne veľkým počtom molekúl a dostatočne dlhým časovým intervalom.
19. Volumetric Collision Rate: Priemerný počet zrážok medzi molekulami plynu v rámci priestorového rozsahu okolo špecifikovaného bodu v rámci daného časového intervalu, vydelený týmto časom a objemom tohto priestorového rozsahu. Časový interval a objem by nemali byť príliš malé.
20. Množstvo plynu: Súčin objemu, ktorý zaberá ideálny plyn v rovnováhe, a jeho tlaku. Táto hodnota musí špecifikovať teplotu plynu alebo sa musí previesť na hodnotu pri 20 stupňoch. (Poznámka: Množstvo plynu sa vzťahuje na 2/3 vlastnej energie (alebo potenciálnej energie) plynu v objeme, ktorý zaberá toto množstvo plynu.)
21. Difúzia plynu: Pohyb plynu v inom prostredí v dôsledku koncentračného gradientu. Médiom môže byť iný plyn (v tomto prípade sa difúzia nazýva interdifúzia) alebo kondenzovateľná látka.
22. Difúzny systém: Pomer absolútnej hodnoty hmotnostného prietoku na jednotku plochy k normálnemu koncentračnému gradientu na jednotku plochy.
23. Viskózne prúdenie: Stav prúdenia, v ktorom je stredná voľná dráha molekúl plynu oveľa menšia ako minimálny prierez-veľkosti potrubia. Preto prietok závisí od viskozity plynu; viskózne prúdenie môže byť laminárne alebo laminárne.
24. Viskozitný koeficient: Pomer tangenciálnej sily na jednotku plochy v smere gradientu rýchlosti plynu k gradientu rýchlosti.
25. Poissonov tok: Laminárny-viskozitný tok cez dlhý kanál s kruhovým prierezom-.
26. Medziprúd: Prietok plynu potrubím v stave medzi laminárnym a molekulárnym tokom.
27. Molekulárny tok: Tok, pri ktorom je stredná voľná dráha molekúl plynu oveľa väčšia ako maximálna plocha prierezu- potrubia.
28. Knuthovo číslo: Pomer strednej voľnej dráhy molekúl plynu k priemeru potrubia.
29. Molekulárny prepad: Prúdenie, keď plyn prúdi cez tenko{1}}stenný otvor, kde stredná voľná dráha jeho molekúl je oveľa väčšia ako veľkosť otvoru.
30. Únik: Prúdenie plynu cez porézny materiál spôsobený rozdielom tlaku.
31. Tepelný únik: Pri molekulárnom prúdení dochádza k prúdeniu plynu medzi dvoma spojenými nádobami v dôsledku teplotných rozdielov. Keď preprava plynu dosiahne rovnováhu, medzi týmito dvoma nádobami sa vytvorí tlakový gradient.
32. Molecular Flow Rate: Rozdiel medzi počtom molekúl prechádzajúcich povrchom v danom smere a počtom molekúl prechádzajúcich povrchom v opačnom smere za daný časový interval delený časom.
33. Hustota molekulárneho prietoku: Molekulový prietok delený plochou povrchu.
34. Hmotnostný prietok: Množstvo plynu prechádzajúceho prierezom-v rámci daného časového intervalu vydelené časom.
35. Prietok: Množstvo plynu, ktoré prejde prierezom-za daný časový interval, vydelené časom.
36. Objemový prietok: Objem plynu prechádzajúceho prierezom- pri danej teplote, tlaku a podmienkach v časovom intervale vydelený týmto časom.
37. Počet mólov plynu prechádzajúcich daným prierezom-za daný časový interval vydelený týmto časom.
38. Maxwellova distribúcia rýchlosti: distribúcia rýchlosti určená Maxwellovou-Boltzmannovou funkciou distribúcie rýchlosti. To znamená distribúciu rýchlosti molekúl plynu v rovnováhe pri danej teplote a keď je vzdialenosť od steny nádoby väčšia ako stredná voľná dráha molekúl.
39. Pravdepodobnosť transportu: Pravdepodobnosť, že molekuly, ktoré náhodne vstúpia do vstupu potrubia, vyjdú cez výstup.
40. Molekulárna vodivosť: Molekulová vodivosť plynu prúdiaceho cez dva špecifikované prierezy alebo otvory potrubia, vyjadrená ako pomer jeho molekulového prietoku k priemernému rozdielu hustoty molekulového čísla medzi dvoma prierezmi alebo otvormi potrubia.
41. Vodivosť: Za izotermických podmienok pomer prietoku plynu potrubím alebo hrdlom k priemernému tlakovému rozdielu cez dva špecifikované prierezy potrubia alebo hrdla.
42. Vlastná vodivosť: V podmienkach, kde v nádobe dominuje Maxwellova distribúcia rýchlosti, vodivosť vedenia (alebo otvoru) spájajúceho dve takéto nádoby. V podmienkach molekulárneho toku sa rovná súčinu vstupnej vodivosti a pravdepodobnosti transportu.
43. Prietokový odpor: Prevrátená hodnota vodivosti.
44. Adsorpcia: zachytávanie plynu alebo pár (adsorbát) pevnou látkou alebo kvapalinou (adsorbent).
45. Povrchová adsorpcia: Adsorpcia plynu alebo pár (adsorbát) na povrch pevnej látky alebo kvapaliny (adsorbentu).
46. Fyzikálna adsorpcia: Adsorpcia v dôsledku fyzikálnych procesov.
47. Chemiadsorpcia: Adsorpcia spôsobená chemickými procesmi.
48. Absorpcia: Difúzia plynu alebo pár (adsorbát) do vnútra pevnej látky alebo kvapaliny (adsorbentu).
49. Fit koeficient: Pomer priemernej energie skutočne vymenenej medzi časticou dopadajúcou na povrch a povrchom k priemernej energii, ktorú by si častica mala vymeniť, aby dosiahla úplnú tepelnú rovnováhu na povrchu.
50. Incidencia: Počet molekúl dopadajúcich na povrch v rámci daného časového intervalu vydelený týmto časom a plochou povrchu.50. Incidencia: Počet molekúl dopadajúcich na povrch v danom časovom intervale vydelený týmto časom a plochou povrchu.
51. Rýchlosť kondenzácie: Počet molekúl (alebo hmotnosti hmoty) kondenzovaných na danej ploche povrchu v rámci daného časového intervalu, vydelený týmto časom a plochou povrchu.
52. Rýchlosť adhézie: Počet molekúl adsorbovaných na povrchu v rámci daného časového intervalu vydelený týmto časom a plochou povrchu.
53. Pravdepodobnosť adhézie: Pomer rýchlosti adhézie k rýchlosti incidentov.
54. Doba zotrvania: Priemerná doba, počas ktorej je molekula viazaná v adsorbovanom stave na povrchu.
55. Migrácia: Pohyb molekúl po povrchu.
56. Desorpcia: Uvoľňovanie plynu alebo pár adsorbovaných materiálom. Uvoľňovanie môže byť prirodzené alebo zrýchlené fyzikálnymi metódami.
57. Odplyňovanie: Umelá desorpcia plynu z materiálu.
58. Odplyňovanie: Prirodzená desorpcia plynu z materiálu.
59. Rýchlosť desorpcie, odplynenia alebo odstraňovania plynu: Rýchlosť prietoku (alebo rýchlosť molekulárneho prietoku) plynu desorbovaného (alebo odplyneného) z materiálu v rámci daného časového intervalu vydelená týmto časom a plochou povrchu.
60. Rýchlosť vyparovania: Počet molekúl (alebo hmotnosti hmoty) odparených z povrchu v rámci daného časového intervalu vydelený týmto časom a plochou povrchu.
61. Permeácia: Fenomén prechodu plynu cez pevnú bariérovú vrstvu. Tento jav zahŕňa difúziu plynu cez pevnú látku a môže zahŕňať aj iné povrchové javy.
62. Priepustnosť: Za podmienok ustáleného prúdenia je prietok plynu cez bariérovú vrstvu (ako je stena nádoby) vydelený funkciou tlakov na oboch stranách bariérovej vrstvy. Forma tejto funkcie závisí od fyzikálnych procesov, ktoré sú súčasťou skutočného prenikania.
63. Koeficient priepustnosti: Súčin priepustnosti a hrúbky bariérovej vrstvy vydelený plochou priepustného povrchu.
Vyššie uvedené je zhrnutím bežnýchvákuové lakovacie zariadeniaodvetvové podmienky. Dúfame, že vám tieto informácie pomôžu, pretože zvládnutie týchto pojmov je nevyhnutné pre vstup do vákuového priemyslu.
