1. Vákuová komora
Vákuová komora je hlavnou súčasťou vákuového náterového stroja. Jeho hlavnou funkciou je vytvorenie vákuového prostredia a udržanie procesu poťahovania vo vákuovom stave. Vákuová komora je zvyčajne vyrobená z materiálov z nehrdzavejúcej ocele alebo zliatiny z hliníka s vysokým vákuovým tesnením a odolnosťou proti korózii.
2. Systém čerpadla
Systém čerpadla je jednou z kľúčových komponentov vákuového náterového stroja. Je zodpovedný hlavne za extrahovanie plynu vo vákuovej komore, aby bol stupeň vákua dosiahnutý v požadovanom stupni. Systém čerpadla sa zvyčajne skladá z molekulárnych čerpadiel, mechanických čerpadiel a difúznych čerpadiel. Rôzne kombinácie čerpadla môžu dosiahnuť rôzne vákuové stupne a rýchlosti čerpania.
3. Zariadenie substrátu
Zariadenie upínacieho substrátu je ďalšou dôležitou súčasťou vákuového poťahovacieho stroja. Používa sa na opravu materiálu substrátu na potiahnutie a riadenie jeho polohy a trajektórie pohybu. Zariadenie substrátu sa zvyčajne skladá z rotujúcej tabuľky, zdvíhacieho mechanizmu a svorky substrátu. Rôzne svorky sa môžu prispôsobiť substrátom rôznych tvarov a veľkostí.
4. Vykurovací systém
Vykurovací systém je nevyhnutnou súčasťou vo vákuovom náterovom stroji. Môže zahrievať substrát a materiál na povlaky, aby podporil tvorbu povlaku a zlepšil jeho kvalitu. Vykurovací systém sa zvyčajne implementuje odporovým drôtom, elektromagnetickým zahrievaním, indukčným vykurovaním a inými metódami.
5. Zdroj poťahovania
Zdroj povlaku je poslednou súčasťou vo vákuovom náterovom stroji. Používa sa na zabezpečenie materiálu, ktorý je potrebné poťahovať, zvyčajne vrátane kovov, keramiky, kremíka a iných materiálov. Zdroj povlaku môže materiál uložiť na substrát elektrónovým lúčom, odparovaním, rozprašovaním a inými metódami na vytvorenie požadovaného povlaku.
Zhrnutie: Vákuový náterový stroj je zariadenie používané na výrobu vysokokvalitných povlakov, v ktorých sú jej hlavnými komponentmi systém vákuovej komory, systém čerpadla, upínacie zariadenie substrátu, vykurovací systém a zdroj poťahovania. Tieto komponenty spolupracujú na dokončení procesu prípravy povlaku.
