Najprv si musíme ujasniť, že kontaminácia vákuovej komory v podstate zahŕňa rôzne nečistoty (vodná para, uhľovodíky, prach, mastnota atď.), ktoré priľnú na steny komory alebo na povrchy vnútorných komponentov a vytvárajú zdroje plynov a pár, ktoré narúšajú rovnováhu vákuového prostredia. Tieto nečistoty pochádzajú zo širokého spektra zdrojov, vrátane zvyškov reznej kvapaliny a maziva zo spracovania obrobku, potu rúk počas prevádzky, polietavého prachu a dokonca aj stopových nečistôt zanesených vákuovou pumpou alebo prchavých látok z cieľového materiálu alebo substrátu. Bez ohľadu na typ kontaminácie je stratégiou obnovy jadra „presné odstránenie nečistôt bez poškodenia materiálu komory a obnovenie vákuového prostredia“. Rôzne typy kontaminácie si vyžadujú rôzne metódy obnovy.
Metóda 1: Zahrievanie na „odparenie“ nečistôt - Metóda čistenia vákuovým ohrevom Toto je najzákladnejšia a bežne používaná metóda obnovy. Princíp je veľmi jednoduchý: rovnako ako sušenie odevov so škvrnami od vody, zahrievanie spôsobuje, že sa prchavé nečistoty (ako vodná para a jemné uhľovodíky) na povrchu dutiny odparia a následne sa odstránia vákuovou pumpou, čím sa dosiahne čistenie.
Metóda 2: Ultrafialový „rozklad“ kontaminantov - Metóda čistenia ultrafialovým žiarením. Ak je kontaminácia dutiny zložená hlavne z uhľovodíkov (ako je zvyškový mazací olej a organické znečisťujúce látky), metóda čistenia ultrafialovým žiarením bude účinnejšia. Okrem toho je bez-kontaktu a nepoškodzuje-v priebehu celého procesu, vďaka čomu je obzvlášť vhodný pre scenáre s extrémne vysokými požiadavkami na materiál, ako sú presné optické dutiny a polovodičové vákuové dutiny.
Metóda 3: Dekontaminácia iónovým „bombardovaním“ - Metóda čistenia výboja. V prípade dutín s vysokým vákuom a ultra-vysokého vákua (ako sú vákuové poťahovacie zariadenia a dutiny na implantáciu polovodičových iónov) je kontaminácia často odolnejšia, najmä uhlík a uhľovodíky na povrchu dutín z nehrdzavejúcej ocele, ktoré je ťažké odstrániť bežnými metódami. V tomto prípade je potrebná metóda čistenia výboja, ktorá je tiež základnou metódou hĺbkovej obnovy vákuových dutín.
Metóda 4: Plynové „odplavenie“ nečistôt - Metóda preplachovania plynom Ak je dutina len mierne kontaminovaná, alebo ak sa vyžaduje rýchle zotavenie a skrátenie času evakuácie, najlepšou voľbou je preplachovanie plynom. Delí sa na preplachovanie dusíkom a preplachovanie reaktívnym plynom, ktoré sú vhodné pre rôzne scenáre.
Dôraz by sa mal klásť na ochranu po-kontaminácii: Po obnove by mala byť dutina chránená pred olejom a prachom. Počas prevádzky by sa mali prijať ochranné opatrenia a vákuová pumpa by sa mala pravidelne udržiavať, aby sa znížila možnosť rekontaminácie. Toto je obzvlášť dôležité v oblastiach s extrémne vysokými požiadavkami na čistotu, ako sú polovodiče a letecký priemysel, kde čistota dutín priamo určuje životnosť a výkon produktu. Čistota vákuovej dutiny je „záchranným lanom“ špičkových-procesov vákua. V skutočnosti zvládnutím týchto štyroch metód obnovy jadra a flexibilným výberom vhodnej metódy na základe stupňa kontaminácie a materiálu dutiny sa dajú ľahko vyriešiť problémy s kontamináciou dutiny, čím sa zabezpečí stabilná prevádzka vákuového systému. S rozvojom priemyslu precíznej výroby sa technológia vákuového čistenia tiež neustále zdokonaľuje, od tradičného čistenia ohrevom až po ekologické a efektívne čistenie výbojom a plazmou. Stále viac metód zabezpečuje čistotu vákuových dutín a chráni špičkovú-výrobu.
Vitajte na našom Tiktokuhttps://www.tiktok.com/@vacuum.coatingmachine za ďalšie videá o strojoch, ďakujem.
