Úvod do princípu poťahovania vákuových trubíc vo vákuových nanášacích strojoch

Dec 31, 2025

Zanechajte správu

PVD coating machine

 

Princíp poťahovania vákuovou trubicou vo vákuových poťahovacích strojoch spočíva v tom, že elektróny, urýchlené smerom k substrátu pod vplyvom elektrického poľa, sa zrážajú s atómami argónu, pričom sa ionizujú na veľké množstvo argónových iónov a elektrónov. Elektróny potom letia smerom k substrátu. Argónové ióny, urýchlené elektrickým poľom, bombardujú cieľový materiál, rozprašujúc veľké množstvo cieľových atómov, ktoré sa ako neutrálne cieľové atómy (alebo molekuly) ukladajú na substrát a vytvárajú film. Sekundárne elektróny sú počas ich zrýchlenia smerom k substrátu ovplyvnené Lorentzovou silou magnetického poľa a sú obmedzené na oblasť plazmy blízko cieľového povrchu. Táto oblasť má vysokú hustotu plazmy a sekundárne elektróny sa vplyvom magnetického poľa pohybujú kruhovým pohybom okolo cieľového povrchu.

 

Táto dlhá dráha pohybu zahŕňa nepretržité kolízie s atómami argónu, ktoré sa ionizujú na veľké množstvo argónových iónov, ktoré bombardujú cieľový materiál. Po viacerých zrážkach elektróny postupne strácajú energiu, uvoľňujú sa z magnetických siločiar, vzďaľujú sa od cieľového materiálu a nakoniec sa ukladajú na substrát. Teraz, s pridaním stredofrekvenčného magnetrónového rozprašovacieho terča, sú odparujúce sa molekuly filmu urýchľované a bombardované terčovým materiálom pôsobením elektrického poľa, čím sa rozprašuje veľké množstvo cieľových atómov.

 

Neutrálne cieľové atómy (alebo molekuly) sa ukladajú na substrát a vytvárajú film, ktorý rieši problém typov filmov, ktoré sa v minulosti nedali spracovať prirodzeným odparovaním, ako je pokovovanie titánom, zirkónium atď.

 

V súčasnosti sa vo vákuových trubiciach bežne používa hliníková-dusíková fólia. Celá fólia sa skladá z troch vrstiev: vnútornej, strednej a vonkajšej, pričom každá má svoju vlastnú funkciu. Vnútorná vrstva je reflexná vrstva, ktorej hlavnou funkciou je zabrániť vyžarovaniu tepla z horúcej vody v trubici smerom von.

 

Stredná vrstva je absorpčná vrstva, ktorej hlavnou funkciou je absorbovať svetelnú energiu a premieňať ju na tepelnú energiu.

Vonkajšia vrstva je anti{0}}reflexná vrstva, ktorej hlavnou funkciou je znížiť odraz slnečného svetla a zvýšiť mieru absorpcie slnečného svetla.

 

 

Zaslať požiadavku
Kontaktujte násAk máte nejaké otázky

Môžete nás buď kontaktovať prostredníctvom telefónu, e -mailu alebo online formulára nižšie. Náš špecialista vás čoskoro bude kontaktovať.

Kontaktujte teraz!