V súčasnosti existuje mnoho metód na monitorovanie tenkých vrstiev vo vákuových lakovacích strojoch, najmä vrátane: vizuálneho monitorovania, monitorovania pevných (extrémnych) hodnôt, monitorovania oscilácií kryštálov a monitorovania času. Tento článok predstaví predovšetkým tri metódy: vizuálne monitorovanie, monitorovanie fixných (extrémnych) hodnôt a monitorovanie oscilácií kryštálov. Vizuálne monitorovanie, tiež známe ako priame monitorovanie, používa oči na sledovanie filmu. Počas procesu rastu filmu interferenčné javy spôsobujú farebné zmeny a na základe týchto farebných zmien riadime hrúbku filmu. Táto metóda má určitý stupeň chybovosti a nie je veľmi presná, vyžaduje si skúsenosti.
Monitorovanie s pevnou-hodnotou (extrémna-hodnota): Toto monitorovanie využíva hlavne reflexné (priepustné) optické monitorovanie. Metóda sledovania extrémnych{3}}hodnot: So zvyšujúcou sa hrúbkou filmu sa zodpovedajúcim spôsobom mení jeho odrazivosť a priepustnosť. Keď odrazivosť alebo priepustnosť dosiahne extrémny bod, optickú hrúbku ND povlaku možno určiť ako celočíselný násobok jednej- štvrtiny monitorovanej vlnovej dĺžky (λ). Metóda extrémnej-hodnoty má však relatívne veľkú chybu, pretože odrazivosť alebo priepustnosť sa v blízkosti extrémnej hodnoty mení veľmi pomaly; to znamená, že R/T sa zmení až po výraznom zvýšení hrúbky filmu ND. Najcitlivejšia poloha je na-osmine vlnovej dĺžky. Metóda monitorovania s pevnou{11}}hodnotou: Táto metóda využíva skutočnosť, že bod zastavenia náteru nie je v{12}} štvrtine vlnovej dĺžky monitorovania. Potom počítač vypočíta odrazivosť (alebo priepustnosť) celkovej hrúbky filmu pri vlnovej dĺžke 1, ktorá je bodom zastavenia povlaku. Monitorovanie kmitania kryštálu: Princíp činnosti kmitania kryštálu je založený na princípe, že frekvencia vibrácií kryštálu kremeňa je nepriamo úmerná jeho hmotnosti. Jednou nevýhodou monitorovania kremeňa je však to, že keď sa hrúbka filmu zvýši na určitú úroveň, frekvencia vibrácií nie je úplne lineárne spojená s hrúbkou v dôsledku vlastností samotného kremeňa. V tomto prípade je potrebné použiť nový kremenný oscilátor.
Každá z niekoľkých metód monitorovania má svoje výhody a nevýhody, ale pre viac{0}}vrstvové povlaky je zvyčajne primárnou metódou optické monitorovanie doplnené o osciláciu kryštálov kremeňa. Okrem toho sú pre niektoré procesy vyžadujúce vstrekovanie plynu počas poťahovania potrebné prietokomery alebo tlakomery, ktoré vyžadujú presné ventily a fotoelektrické snímacie systémy na riadenie. Vákuové poťahovacie stroje tiež vyžadujú systém riadenia otáčania, kde je hlavný hriadeľ dáždnika umiestnený vo vnútri ložiska a motor poháňa ložisko, aby sa dáždnik otáčal. Rýchlosť otáčania potom riadi PLC. Otáčanie téglika je poháňané motorom a využíva fotoelektrické indukčné počítanie, zatiaľ čo tieniaca doska sa otáča pomocou pneumatického spínača. Ak chcete zrýchliť rýchlosť čerpania a dosiahnuť určitú úroveň vákua, vákuovú komoru je potrebné ochladiť, zmraziť vzduch vo vnútri na -130 stupňov Celzia a zmraziť a odstrániť všetky vodné pary. Sekcia elektrického ovládania využíva hlavne automatické riadenie PLC. Vopred{10}}navrhnutý program sa najskôr zadá do PLC a hlavný obvod procesora sa pripojí ku každému systému bez zaťaženia na ovládacom paneli. Po stlačení spínača na ovládacom paneli sa informácie prenesú do centrálneho procesora a potom centrálny riadiaci systém analyzuje a vydá pokyny pobočkovým okruhom na vykonanie a dokončenie akcie.
Vákuové lakovacie stroje sú zariadenia, ktoré integrujú viacero disciplín. Zahŕňajú najpokročilejšie elektromechanické technológie, riadiace technológie, elektrickú automatizáciu, IT technológie, chladiace technológie, mikroobvodové integrované systémy, vysokonapäťové riadiace systémy, mechanické technológie, spracovateľské technológie, optoelektronické technológie, optické technológie, pneumatické riadiace technológie, optoelektronické snímacie technológie, komunikačné technológie, vákuové technológie, tenké{2}}vrstvy, optika a poťahové technológie. Vákuové lakovacie stroje možno považovať za predstaviteľa vznikajúcich priemyselných odvetví. Vákuové lakovacie stroje sú dnes široko používané najmä pri výrobe tenkých vrstiev. Rôzne vyrábané tenké vrstvy sa používajú v rôznych optoelektronických systémoch a optických prístrojoch, ako sú digitálne fotoaparáty, digitálne videokamery, teleskopy, projektory, riadenie energie, optická komunikácia, zobrazovacia technika, interferometre, umelé satelity a strely, polovodičové lasery, mikroelektromechanické systémy, informačný priemysel, výroba laserov, rôzne filtre, automobilový priemysel, osvetľovací priemysel, priemysel očných šošoviek, senzory pre architektonické sklá a ďalšie. Poťahovacie stroje sa stali úzko integrovanými do ľudského života.
