Magnetrónové rozprašovacie zariadenie sa skladá hlavne z nasledujúcich častí:
1. Cieľový materiál: jadrová zložka zariadenia na rozprašovanie magnetrónu, zvyčajne vyrobené z kovu, zliatiny a iných materiálov.
2. Vákuová komora: Operatívne prostredie na rozprašovacie zariadenie magnetronu sa musí vykonávať za vysokých vákuových podmienok a vákuová komora hrá úlohu udržiavania vákua.
3. Magnetrónový systém: Magnetické pole sa používa na reguláciu bombardovania iónov na povrchu cieľového materiálu, ktorý spôsobuje prskanie.
4. Rámec substrátu: Používa sa na podporu spracovania materiálu substrátu.
5. Systém vykurovania: V niektorých prípadoch je potrebné, aby sa cieľový materiál a substrát zahreli, aby sa riadil proces rozprašovania.
