Horizontálna čiara natiahnutia magnetrónu

Vodorovná výrobná linka na rozprašovanie magnetrónu je dôležitou konfiguráciou zariadenia na ukladanie fyzických pár.

Jeho hlavnou vlastnosťou je, že substrát (obrobok) je umiestnený horizontálne počas procesu poťahovania.

Toto usporiadanie prináša jedinečné charakteristiky a výhody aplikácie, vďaka čomu je nenahraditeľná v konkrétnych oblastiach.

Depozícia viacvrstvových kompozitných filmov na povrchu skla, keramiky a plochých výrobkov;

Umiestnenie vodorovného substrátu

Toto je základná funkcia. Substrát (ako je sklenená doska, kremíková oblátka, kovová doska, plastová plachta atď.) Sa umiestni vodorovne na nosiči (ako je podnos, rám) alebo sa prepravuje horizontálne cez plochu potiahnutia mechanizmom dopravníka.

Nepretržitá výroba

Horizontálne čiary sú veľmi vhodné na navrhovanie nepretržitej alebo in-line výroby.

Substráty sa môžu postupne načítať, odosielať do rozprašovacej komory na povlak a potom odosielajú a vyložené, čím sa dosiahne efektívne veľké operácie montážnej linky vo veľkom meradle.

Ľahko integrovať automatizáciu

Horizontálne umiestnenie a lineárne usporiadanie sú veľmi výhodné na integráciu automatizovaných robotov nakladania/vykladania, sprostredkovacích systémov (ako sú valčeky, reťazové dopravníky, roboty), online detekčné vybavenie atď. Na dosiahnutie vysoko automatizovanej výroby.

Pre ploché substráty

Obzvlášť dobré pri spracovaní plochých alebo mierne zakrivených substrátov (napríklad architektonické sklo, fotovoltaické sklo, substráty displeja plochých panelov, pružné rolky).

Malý vplyv gravitácie

Horizontálne umiestnenie robí smer gravitácie kolmá na povrch substrátu.

V prípade častíc, ktoré sa môžu počas procesu rozprašovania generovať, je vplyv gravitačnej sedimentácie na uniformitu filmovej vrstvy relatívne malý (v porovnaní s vertikálnym typom).

Pohodlná prevádzka a údržba

Hlavné vybavenie a komponenty sa zvyčajne nachádzajú vo výškach, ktoré sú ľahko dostupné pre operátorov, čím sú každodenné prevádzky, monitorovanie a údržba vhodné.

Extrémne vysoká efektívnosť a kapacita výroby
Nepretržitá výroba:

Toto je najväčšia výhoda horizontálnej línie. Substrát môže byť nepretržite vstupný a výstup a proces odprašovania sa dokončí počas nepretržitého alebo krok-krokového pohybu substrátu, ktorý je obzvlášť vhodný pre rozsiahle, jednoduché alebo obmedzené potreby výroby rozmanitosti.

Vynikajúca uniformita povlaku vo veľkom oblastiach
V prípade plochých substrátov (najmä obdĺžnikových sklenených dosiek) je možné na veľkej ploche dosiahnuť veľmi vysokú rovnomernosť filmu na veľkej ploche starostlivým navrhnutím cieľového rozloženia, distribúcie magnetického poľa, rýchlosti prenosu substrátu a vzdialenosti substrátu cieľov.

Vynikajúca stabilita procesu a opakovateľnosť
Vysoko automatizované a nepretržité procesy znižujú ľudské zásahy a prevádzkové chyby

Stabilná rýchlosť sprostredkovania a presné riadenie parametrov procesu (tlak plynu, výkon, prietok plynu) Zabezpečuje stabilitu procesu medzi dávkami a po dlhú dobu.

Vynikajúca kompatibilita a flexibilita substrátu
Rôzne materiály: Vhodné pre rôzne ploché substráty, ako sú sklo, kovové listy, kremíkové doštičky, keramika a špecifické plasty.

Ľahko dosiahnuteľné viacvrstvové ukladanie filmu
Usporiadaním rozprašovacích cieľov rôznych materiálov v sekvencii na ceste a prejdení substrátu cez tieto cieľové polohy v sekvencii sa môžu tenké filmy viacerých materiálov kontinuálne ukladať v jednom sprostredkovaní procesu, aby sa vytvorili komplexný viacvrstvový filmový filmový systém (ako je napríklad viacvrstvový film na báze striebra).