Prevádzkové kroky počítača optického poťahovania zahŕňajú viac odkazov. Nasledujú podrobné prevádzkové kroky:
1. Predbežná príprava
Skontrolujte stav stroja:
Skontrolujte, či je stroj optického poťahovania v normálnom pracovnom stave, vrátane toho, či je napájanie, zdroj plynu, chladiaci systém atď.
Odstráňte zvyšky vo vnútri a okolo stroja, najmä zvyšky odparovania, aby ste zaistili čisté pracovné prostredie.
Príprava materiálu:
Vyberte vysoko kvalitné optické šošovky alebo iné materiály, ktoré je potrebné poťahovať.
Pripravte materiály na odparovanie, ako sú kovové ciele, aby ste zaistili, že čistota a kvalita materiálov spĺňajú požiadavky.
Príprava zariadenia:
Pripravte potrebné na povlaky, ako sú merania hrúbky vákuového filmu, vákuové čerpadlá a zdroje iónov.
Skontrolujte, či je zariadenie neporušené, aby ste sa uistili, že môže fungovať normálne.
Príprava životného prostredia:
Uistite sa, že povlaková komora je pevne zatvorená a nedochádza k úniku vzduchu.
Pripravte čistiace nástroje, ako je čistiaca tekutina a deionizovaná voda, ako aj brúsenie, dekontaminácia a ďalšie náradie.
2. Predbežné ošetrenie povlaku
Leštenie:
Jemne vyleštite optickú šošovku, aby ste odstránili malé depresie a nečistoty na povrchu.
Čistenie:
Na čistenie optickej šošovky použite špeciálne čistiace kvapaliny a ultrazvukové čistiace zariadenia, aby ste zaistili čistý povrch.
Po vyčistení opláchnite deionizovanou vodou, aby ste odstránili zvyškovú čistiacu tekutinu.
Vákuové zahrievanie:
Vložte vyčistenú šošovku do vákuovej komory a zohrejte objektív elektrickým kúrením.
Plyn adsorbovaný na povrchu sa odparuje a prečerpáva, aby sa zabezpečila čistota povlakového prostredia.
3. Prevádzka povlaku
Nastavte parametre procesu:
Podľa požiadaviek na náter nastavte vhodné parametre procesu, ako je teplota odparovania, rýchlosť odparovania, stupeň vákua, atď.
Proces odparovania:
Pridajte materiál na odparovanie do zdroja odparovania, ako je napríklad volfrámové vlákno.
Zapnite zdroj odparovania, vykonajte proces odparovania a uvoľnite aktívne atómy.
Filmové ukladanie:
Používajte zdroje energie, ako sú iónové zdroje alebo elektrónové lúče vo vákuovej komore na uloženie odparovaných atómov alebo molekúl na povrchu šošovky.
Počas procesu depozície sa na monitorovanie hrúbky filmu v reálnom čase používa rozchod hrúbky vákuového filmu, aby sa zabezpečilo splnenie vopred určených požiadaviek.
Pomocné vykurovanie:
Počas procesu depozície môže byť potrebné použiť technológiu pomocného vykurovania na zahrievanie povrchu substrátu na teplotu samovonsenzácie filmovej vrstvy, ktorá vedie k kondenzácii a tuhosti filmovej vrstvy.
4. Post-potiahnutá liečba
Chladenie:
Po dokončení procesu náteru vypnite zdroje energie, ako je zdroj odparovania a zdroj iónov.
Nechajte vákuovú komoru prirodzene ochladiť na izbovú teplotu, alebo použite nútené chladenie na urýchlenie procesu chladenia.
Vyberte obrobok:
Po tlaku vzduchu vo vákuovej komore sa vráti k normálnemu tlaku, otvorte dvere vákuovej komory a vyberte potiahnutú šošovku.
Čistenie a kontrola:
Vyčistite potiahnutú šošovku, aby ste odstránili nečistoty, ktoré môžu zostať na povrchu.
Skontrolujte kvalitu povlaku, vrátane toho, či je hrúbka filmu, uniformita, optický výkon atď. Spĺňajú požiadavky.
5. Údržba a starostlivosť
Vyčistite reakčnú komoru:
Pravidelne čistite interiér reakčnej komory a komponenty, ako je vykurovacia doska, aby ste odstránili zvyškové odparovacie materiály a nečistoty.
Výmena dielov:
Podľa používania zariadenia pravidelne vymieňajú časti závažným opotrebením, ako je zdroj odparovania, zdroj iónov atď.
Údržba:
Vykonajte komplexnú údržbu zariadenia, vrátane kontroly, či napájanie, zdroj plynu, chladiaci systém atď.
Pravidelne kalibrovať a ladiť zariadenie, aby ste zaistili presnosť a stabilitu povlaku.
Vyššie uvedené sú základné prevádzkové kroky optického poťahovacieho stroja. Optické stroje na povlaky rôznych modelov a špecifikácií môžu mať rôzne špecifické operácie. Preto by sa v skutočnom prevádzkovom procese malo prísne dodržiavať príručka zariadenia a mali by sa pozorovať príslušné bezpečnostné predpisy a prevádzkové postupy.
